期刊信息
- 刊名： 河北师范大学学报（自然科学版）Journal of Hebei Normal University (Natural Science)
- 主办： 河北师范大学
- ISSN： 1000-5854
- CN： 13-1061/N
- 中国科技核心期刊
- 中国期刊方阵入选期刊
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- 华北优秀期刊
- 河北省优秀科技期刊
Effect of Discharge Temperature upon Active Species(N+,Nf)
摘要/Abstract
摘要：
采用蒙特卡罗方法,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N2+ 电荷交换离解过程,产生的活性粒子 (N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律.结果表明:阴极壁处活性粒子 (N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大,最佳放电温度与参数 (P,Vc)相关联.模拟结果为等离子体与材料表面的相互作用过程的认识提供了依据.
Abstract：
Law of active species (N+,Nf)energy distribution with discharge temperature changing at cathode well of nitrogen glow discharge is studied. It shows that there is an optimum discharge temperature of species (N+,Nf) energy distribution at cathode, and the results are compared with the results of experiment.
关键词
关键词：
氮直流辉光放电
;
Monte-Carlo模拟
;
活性氮粒子
;
N2+-N2s离解反应